ThetaMetrisis FR-Scanner 是一款緊湊的臺(tái)式測(cè)量工具，全自動(dòng)測(cè)繪涂層的厚度，基底適用于晶圓、掩膜版及其它材料。

FR-Scanner 可以快速準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜特性，比如厚度、折射系數(shù)、均勻性、色度等，真空吸盤可應(yīng)用于任何直徑或其它形狀的樣品。