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薄膜厚度測量的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件：分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

硅片厚度測量儀采用的是近紅外光(NIR)來測量膜層厚度，因此可以測試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導(dǎo)體膜層) 。