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隨著電子信息產(chǎn)業(yè)向高集成度與微型化方向加速演進(jìn)，顯示面板與半導(dǎo)體元器件的制造工藝面臨著全新的挑戰(zhàn)。在微米乃至納米級的精密制造過程中，工藝偏差或微小異物極易引發(fā)產(chǎn)品缺陷，直接制約良率與性能。激光缺陷修復(fù)設(shè)備憑借非接觸、高精度與高靈活性的獨(dú)特優(yōu)...
HerzTS主動隔振臺介紹：在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù)，基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù)，原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn))，振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時(shí)需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動隔振臺特點(diǎn)：1、在全部的6個(gè)自由度范圍...