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晶圓關鍵尺寸測量
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GrazingMaster600平面度測量儀專業(yè)為微米級平面度平面零件制造商提供納米級的表面平整度測量功能。采用非接觸式光學干涉技術快速測量零件的整個表面,可以幫助用戶快速評價從光滑到粗糙平面的平面度誤差,尤其適合非鏡面類平面表面的納米級平面度精密測量。同時,系統(tǒng)集成白光干涉三維測量顯微鏡,可以同步實現精密平面表面微觀粗糙度和微結構的三維測量。
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