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Product CategoryLODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。
LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。
LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導(dǎo)體SiC、GaN晶圓檢查裝置。
海的超聲波顯微鏡以水作為耦合介質(zhì),將超聲波探頭與被測芯片浸沒,探頭發(fā)射的超聲波穿過水與塑封層,到達芯片內(nèi)部界面(如 Die 與粘接層);通過分析界面反射回波的差異,即可識別粘接層空洞、分層、脫粘等缺陷,實現(xiàn)對芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)的非破壞性質(zhì)量檢測